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壓阻壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應和組成。使用純硅作為彈性元件,使用集成電路技術在單晶硅膜,在單晶硅擴散在一個特定的方向

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組的等效電阻和電阻滿足橋路,單晶硅片的傳感器。當壓力變化時,單晶硅生產菌株,傳播的正上方阻力和壓力測量的壓力





成比例變化,電橋電路相應的電壓輸出信號。下面小編給你介紹“壓阻壓力傳感器結構原理圖the"的工作過程和特點;





壓阻壓力傳感器結構





壓阻壓力傳感器集成技術集成電阻條單晶硅膜,制成的硅壓阻芯片,和修復芯片外圍封裝在一個外殼,從而導致電極。壓阻壓力傳感器也稱為固態壓力傳感器,它不同于粘貼式應變儀間接由彈性敏感元件感受力量,而是由硅膜片壓力直接測量。？





一側的硅膜片的測量是與高壓腔的壓力,另一方面是與低壓腔的氣氛。硅膜片設計周邊固支圓,直徑和厚度比約為20~60。傳播的圓形硅膜片本地化第四條p雜質阻力,完成這座橋,在受壓區包括兩個,另外兩個是在拉應力區,相對于隔膜對稱中心。？





此外,也有使用方形硅膜片和硅塊敏感元件。硅汽缸傳感器也在汽缸的晶體硅擴散在某方向條電阻,耐拉伸應力的兩個,另兩個抗壓應力的橋。

壓阻傳感器是基于半導體材料的壓阻效應的半導體襯底設備由擴散阻力。底物可以直接測量傳感器,擴散阻力在襯底上橋形式。





當外力引起的基質和變形,電阻值會改變,會產生相應的不平衡輸出橋。嗎?作為襯底材料壓阻傳感器(或隔膜)主要為硅和鍺,硅晶圓為敏感嗎?材料制成的硅壓阻傳感器越來越得到人們的關注,尤其是測量壓力和速度最常見的固態壓阻傳感器的應用。





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