中科行智3D飛點分光干涉儀，推動偏光片薄膜溝槽深度檢測發展！
液晶屏能夠顯示各種信息給人類，是現代電子技術、人工智能的重要基礎單位，是人機交互的重要通道，具有十分重要的價值。液晶屏中最新的是源矩陣有機發光二級面板顯示屏（amoled），因其特性受到了業界的廣泛關注，其中偏光片是它的重要組成部分。偏光片分別由保護膜、三醋酸纖維素膜（TAC）、聚乙烯醇膜（PVA）、離型膜和壓敏膠等結構層組成。在生產過程中，將原材料的膜通過拉伸、擴大等制作工藝，最終使偏光片整體透光效果均勻，從而為amoled的均勻發光效果提供保障。
偏光片是一種常見的偏振光學元件，應用非常廣泛，在薄膜電晶體液體顯示器（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD）型液晶顯示面板中，必有兩層偏振方向正交的偏光片。偏光片成品一般由 6 層微米級厚度的透明聚合物薄膜組成，其外觀缺陷可能出現在任何一層。一旦出現凸凹點、異物、氣泡、劃痕等外觀缺陷會直接降低顯示面板的質量等級，甚至導致整個面板報廢，因此偏光片外觀缺陷檢測就變得尤為重要。
1、案例需求：薄膜溝槽深度測量
2、解決方案：
采用3D飛點分光干涉儀系列，采集薄膜劃痕狹縫數據，用GIVS 3D進行檢測。
3、樣品特點
多層透明薄膜、溝槽橫向寬度窄
4、測量條件
掃描點數：100×400
掃描范圍：0.3×1.2（mm）
5、軟件工具
平面校正、點云轉深度圖、高度測量等。
6、檢測方案
（1）點云數據采集；
（2）進行點云數據校正，將點云轉成深度圖；
（3）選擇測量區域，進行高度測量。
3D飛點分光干涉儀是專業用于超高精度、鏡面高反光及透明材質的納米級測量儀。采用譜域白光干涉原理，實現300nm Z向絕對精度、30nm Z向重復精度，掃描幀率70kHz，最大直徑80mm，可適用于測量強反射、弱反射及透明物體等多種物體，分光模塊與光學振鏡模塊分離設計，加入光學振鏡掃描可替代昂貴的高精密位移臺。
產品可廣泛應用于半導體晶圓、金線、BGA、AR鏡片、精密接插件等亞微米級別的3D測量。
3D飛點分光干涉儀
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